低密度ITO靶材
外观：黄绿色，均一
化学式：In2O3·SnO2
铟锡比：In2O3/SnO2=95/5wt%（或90/10wt%）
纯度： ≥99.99%
杂质含量：≤100 ppm(Fe, Pb, Zn, Ni, Cu, Cd, Al, Si, Ca, Zr)
相对密度：（62.0 ± 2.0）%
尺寸：Φ25，Φ30等
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